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洁净气体过滤器 SF

类型 系列/CAD 使用压力 过滤精度
卡盘式
圆盘式		 SFA100/
200/300 		 Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)		 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盘式
直筒式		 SFB100  Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)

 特长
  • 可更换滤芯的卡盘式。
一次性使用式
直筒式		 SFB300  Max.15MPa
(真空：1.3×10-6kPa)		 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多层盘式		 SFC100  Max.1.8MPa
(真空：1.3×10-6kPa)

 特长
  • 用于半导体工艺的一次性使用式。
卡盘式
直筒式
洁净气体滤网		 SFB200  Max.1.0MPa
(真空：1.3×10-6kPa)		 120μm
 
上一条：除臭过滤器 AMF
 
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