铝制快换接头装拆 高真空L型阀 XLAQ·XLDQ |
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| 系列/CAD |
动作方式 |
轴密封形式 |
阀形式 |
材质 |
法兰尺寸 |
XLAQ  |
气控 |
波纹管密封 |
单作用
(N.C.) |
阀体：
铝
波纹管：
SUS316L |
16～50 |
| XLDQ |
波纹管密封
O形圈密封 |
40,50 |
| 特长 |
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磁性开关 D |
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| 系列 |
磁性开关种类 |
内容 |
| D Series |
有触点的磁性开关 |
一般 (通用型) |
| 无触点的磁性开关 |
一般 (通用型) | |
平稳出气阀 XVD |
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| 系列/CAD |
阀形式 |
使用流体 |
配管连接方式 |
配管尺寸 |
| XVD |
常断
(加压通/弹簧密封) |
氮气、空气、惰性气体等 |
VCR®
Swagelok® |
1/4B |
| 特长 |
- 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
- (阀芯)座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
- 伴随主供气初期供气可进行流量调整。
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门阀 XGT |
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| 系列/CAD |
使用压力范围 (Pa) |
使用流体 |
门尺寸
(高×宽) (mm) |
动作压力
(MPa) |
| XGT |
大气压～1×10-6 |
惰性气体系的真空 |
32×222
46×236
50×336 |
0.45～0.6 |
| 特长 |
- 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
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真空无杆气缸 CYV |
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| 系列/CAD |
使用环境压力｛Pa (ABS)｝ |
缸径 (mm) |
| CYV |
大气～1.3×10-4 |
15,32 |
| 特长 |
- 真空环境内 (1.3×10-4Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。
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薄型液压缸 CHQ/CHDQ |
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| 系列/CAD |
公称压力 (MPa) |
缸体材质 |
动作方式 |
缸径 (mm) |
| CHQ |
3.5 |
铝 |
单杆双作用 |
20,32,40,50,
63,80,100 |
| CHQW |
双杆双作用 |
| 特长 |
- 铝质缸体，轻、紧凑。
- 可安装磁性开关。
- 带或不带磁性开关，缸体长度方向尺寸一样。
- 带磁性开关 (CHDQ系列：CHDQ、CHDQW)
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符合JIS标准薄型液压缸 CHK□/CHDK□ |
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| 系列/CAD |
公称压力 (MPa) |
缸体材质 |
动作方式 |
缸径 (mm) |
| CHKD |
10 |
铝 |
单杆双作用 |
20,25,32,40,
50,63,80,100 |
| CHKG |
16 |
| 特长 |
- 铝质缸体，轻、紧凑。
- 可安装磁性开关。
- 带或不带磁性开关，缸体长度方向尺寸一样。
- 符合JIS标准 (CHKD系列)
- 带磁性开关 (CHDK系列：CHDKD、CHDKG)
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小口径液压缸 CHN |
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| 系列/CAD |
公称压力 (MPa) |
缸体材质 |
动作方式 |
缸径 (mm) |
| CHN |
7 |
不锈钢 |
单杆双作用 |
20,25,32,40 |
| 特长 |
- 不锈钢缸筒，铝质缸盖，轻。
- 采用缓冲密封圈方式的缓冲机构。降低行程终点处冲击。改善了耐久性。
- 与同尺寸的拉杆形气缸比较端盖部截面尺寸变小。
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