烧结金属滤芯 EB/ES |
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| 系列/CAD |
材质 |
公称过滤精度 |
EB  |
青铜 |
(1) ,2,5,10,20,40,70,100,120μm |
| ES |
不锈钢 |
| 特长 |
- 机械强度大、耐压，耐腐蚀性强。
- 可机械加工、铆接、焊接、溶接及同时烧结。
- 滤芯能洗净再生。
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冷冻式温控器 HRG |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HRG |
5～35℃ |
1～15kW |
±1.0℃/
±0.5℃ |
空冷冷冻式
水冷冷冻式 |
清水
去离子水
(纯水)
乙二醇
水溶液 |
| 特长 |
- 空冷类。设置操作简单、在任何需要场合都可以得到冷却水。
- 广泛的应用于激光加工机/分析仪/LCD制造设备/模具温调等。
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冷冻式温控器 HRGC |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HRGC |
5～35℃ |
1～5kW |
±1.0℃/
±0.5℃ |
空冷冷冻式
水冷冷冻式 |
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液 |
| 特长 |
- 空冷类。设置操作简单、在任何需要场合都可以得到冷却水。
- 广泛的应用于激光加工机/分析仪/LCD制造设备/模具温调等。
- 适合海外出口(单相200～230V)
符合UL标准、CE规格。 | |
冷冻式温控器 HRZ |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HRZ |
-20～40℃ |
1～15kW |
±0.1℃ |
水冷冷冻式 |
氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液 |
| 20～90℃ |
| -20～90℃ |
| 特长 |
- 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能，多用于半导体工艺设备。
- 适用各种安全标准。
- 符合UL和SEMI标准、CE规格。
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冷冻式温控器 HRZ |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HRZ |
-20～90℃ |
1.8～10kW |
±0.1℃ |
水冷冷冻式 |
氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液 |
| 特长 |
- 在HRZ系列高性能的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了省能化。
- 兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。
- 适用于更新周期短的半导体器件，可以灵活地响应不断变化的工艺条件。
- 符合UL和SEMI标准、CE规格。
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水冷却式温控器 HRW |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HRW |
20～90℃ |
2～30kW |
±0.3℃ |
水冷却式 |
氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液 |
| 特长 |
- 可以与工厂内循环用水直接进行热交换。
- 适用于无需冷冻设备调温的场合。
- 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能，多用于半导体工艺设备。
- 符合UL和SEMI标准、CE规格。
- 可选择带变频器类型。
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帕耳帖式温控器 HEC |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HEC |
10～60℃ |
230W |
±0.01～
0.03℃ |
帕尔贴式
空冷却式 |
清水 |
| 600、1200W |
±0.01～
0.03℃ |
帕尔贴式
水冷却式 |
清水
氟素化液 |
| 特长 |
- 用于高精度的温度控制。
- 用帕尔贴式元件可实现无氟里昂高精度温度控制。
- 结构简单，可靠性高。
- 小型、低震动，容易组装。
- 可用于宽泛的电源电压下。
- 符合UL标准、CE规格。
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帕尔贴式温调恒温槽 HEB |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HEB |
-15～60℃ |
140W |
±0.1℃ |
帕尔贴式
水冷却式 |
清水
氟素化液 |
| 特长 |
- 用帕尔贴式元件可实现高精度温调恒温槽。
- 小型、低噪音。
- 独特的搅拌方式使槽内上下温度分布均匀。
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帕耳帖式化学液温控器 HED |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
循环液 |
| HED |
10～60℃ |
300～750W |
±0.1℃ |
帕耳帖式
水冷却式 |
去离子水(纯水)
化学液 |
| 特长 |
- 采用了氟树脂热交换机，实现化学液的直接温控。
- 氟树脂热交换机可以适应于多种化学液。
- 符合UL标准、CE规格。
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帕耳帖式空气温控器 HEA |
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系列/
CAD |
设定温度范围 |
冷却能力 |
温度稳定性 |
冷却方式 |
适用流体 |
| HEA |
0～50℃ |
22W |
±0.1℃ |
帕耳帖式
空冷却式 |
空气 |
| 特长 |
- 使用帕尔贴元件的高精度、小型温调器。
- 对应于局部温调或小容量温调。
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