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流量传感器 PFMV
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PFMV  0～0.5
0～1
0～3
-0.5～0.5
-1～1
-3～3
特长
  • 用于微小工件的吸着确认。
  • 重复精度±2%F.S.以下。
  • 响应速度5ms以下、耐压500kPa。
  • 无润滑脂、对应RoHS。
  • 一个监视器可对应全部的量程。
空气用数字式流量开关 PF2A
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2A  1～10
5～50
10～100
20～200
50～500
150～3000
300～6000
600～12000
特长
  • 显示一体型和分离型两种形式。
  • 有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。
  • 瞬时流量和累计流量可切换。
  • IP65
水用数字式流量开关 PF2W
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2W  0.5～4
2～16
5～40
10～100
特长
  • 显示一体型和分离型两种形式。
  • 有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。
  • 瞬时流量和累计流量可切换。
  • 90℃高温可用。
  • IP65
纯水・化学液用数字式流量开关 PF2D
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2D  0.4～4
1.8～20
4.0～40
特长
  • 主体传感器部：NewPFA，管子：SuperPFA
  • 低发尘、优良的置换特性。
4通道流量监控器 PF2□200
系列/CAD 适用传感器 设定流量范围 (L/min)
PF2A200・201  空气用 PF2A5 0.5～10.5
2.5～52.5
5～105
10～210
25～525
PF2W200・201  水用 PF2W5 0.35～4.50
1.7～17.0
3.5～45.0
7～110
PF2D200・201  纯水・化学液用 PF2D5 0.25～4.50
1.3～21.0
2.5～45.0
特长
  • 用一个控制器可对4个流量开关进行流量管理。
  • 不同的4个流量范围可连接在1个控制器上。
膜片式流量开关 IFW5
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
IFW5  1～10
10～20
20～50
特长
  • 用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。
  • 带霓虹灯。
桨叶式流量开关 IF3
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
IF3  14～60
20～1500
36～2600
特长
  • 用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。
  • 接管口径　3/4, 1
  • 相当IP42、相当IP44。
静电消除器 IZS31
系列/CAD 离子产生方式 离子平衡
IZS31  电晕放电式 ±30V以下
(不锈钢电极针的场合±100V)
特长
  • 除电时间0.3秒。
  • 3类传感器可供选择。
    • 通过反馈传感器可高速除电。
    • 通过自动平衡传感器控制离子平衡。
      高精度型：正确调节工件位置的离子平衡。
      本体安装型：根据检测接地返回电流，调整静电消除器安装状态可使用。
  • 可根据用途选择电极针。
    • 重视除电速度的高速除电型。
    • 低维护型。
表面电位传感器 IZD10
系列/CAD 测定电位 输出电压 有效检测距离
IZD10-110  ±0.4kV
(检测距离25mm时)		 1～5V
(输出阻抗约100Ω)		 10～50mm
IZD10-510  ±20kV
(检测距离50mm时)		 25～75mm
特长
  • 检测工件静电电位，输出开关量和模拟电压。
表面电位传感器 IZE11
系列/CAD 测定范围 设定最小单位 输出
IZE11  -0.4kV～＋0.4kV
-20kV～＋20kV		 0.001kV
(±0.4kV時)
0.1kV
(±20kV時)		 开关输出×2＋模拟输出
(1～5V、4～20mA)
特长
  • 检测工件静电电位，输出开关量和模拟电压或电流。

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