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洁净气体过滤器 SF
类型 系列/CAD 使用压力 过滤精度
卡盘式
圆盘式
SFA100/
200/300
 
Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盘式
直筒式
SFB100  Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)

特长
  • 可更换滤芯的卡盘式。
一次性使用式
直筒式
SFB300  Max.15MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性使用式
多层盘式
SFC100  Max.1.8MPa
(真空:1.3×10-6kPa)

特长
  • 用于半导体工艺的一次性使用式。
卡盘式
直筒式
洁净气体滤网
SFB200  Max.1.0MPa
(真空:1.3×10-6kPa)
120μm
洁净气体过滤器 中空滤芯 SFD
系列/CAD 种类 使用压力 过滤精度
SFD100  一次性使用式
(不可更换滤芯)
MAX.1.0MPa 0.01μm
(捕捉效率:99.99%)
SFD200  卡盘式
(可更换滤芯)
特长
  • 内置中空滤芯。
  • 压力降:0.03MPa(入口压0.7MPa、最大流量时)
  • 对应RoHS指令(限制有害成分)。
洁净空气模块 LLB
系列 使用流体 设定压力 流量范围 L/min (ANR)
LLB3  洁净空气
氮气注)
0.05~0.4MPa 5~100
LLB4  50~500
特长
  • 洁净元件模块化(削减配管工时/省空间)。
  • 可简便得到清洁空气。
  • 过滤精度:0.01μm(捕捉效率99.99%)。
  • 接流体部:无润滑脂、无硅。
  • 洁净室组装两层捆包出厂。
  • 可有24种组合。
自动排水器 AD
系列/CAD 连接口径 排水口径
AD402  1/4,3/8,1/2 3/8
AD600  3/4,1 3/4,1
特长
  • 自动排水。
电动式自动排水器 ADM
系列/CAD 耗电量 (W) 连接口径
ADM200  4 IN 3/8,1/2
OUT 3/8
特长
  • 高粘度流体亦可排出。
重载型自动排水器 ADH
系列/CAD 连接口径 排水方式
ADH4000  1/2 浮子式
特长
  • 易维修管理。无需拔配管即可维护。
  • 浮子式设计不需要电源操作,不会浪费压缩空气。根据排水量排出。
差压表 GD40
系列 精度 刻度范围
GD40  ±0.006MPa 0~0.2MPa
特长
  • 能显示入口压力和出口压力的差值, 适用于过滤器等的维修管理。
  • 可方便地装于旁路系统上。
  • 避免危险附有防护盖。
模块式F.R.L.空气组合元件 AC
组合构成元件 系列/CAD 接管口径 设定压力(MPa)
空气过滤器/
减压阀/
油雾器
AF+AR+AL  M5×0.8
1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4,1
0.05~0.85
(M5:0.05~0.7)
过滤减压阀/
油雾器
AW+AL  M5×0.8
1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4,1
0.05~0.85
(M5:0.05~0.7)
空气过滤器/
减压阀
AF+AR  M5×0.8
1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4,1
0.05~0.85
(M5:0.05~0.7)
空气过滤器/
油雾分离器/
减压阀
AF+AFM+AR  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.85
过滤减压阀/
油雾分离器
AW+AFM  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.85
新款 模块式F.R.L.空气组合元件 新 AC20 AC25 AC30 AC40
组合构成元件 系列/CAD 接管口径 设定压力(MPa)
空气过滤器/
减压阀/
油雾器
AF+AR+AL【新】  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.7
过滤减压阀/
油雾器
AW+AL【新】  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.7
空气过滤器/
减压阀
AF+AR【新】  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.7
空气过滤器/
油雾分离器/
减压阀
AF+AFM+AR【新】  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.7
过滤减压阀/
油雾分离器
AW+AFM【新】  1/8,1/4,3/8,
1/2,3/4
0.05~0.7
空气过滤器 AF
系列/CAD 接管口径 过滤精度(μm)
AF10~60  M5×0.8
1/8,1/4,3/8,1/2,3/4,1
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