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FRL (安装支架类)
安装器具类 模块连接块8-15系列
●空气调质系列150型连接块
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种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 150系列 Rc1/8.Rc1/4
安装器具类 模块连接块8-20系列
●空气调质系列150型和300型连接块
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种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 150.300系列 Rc1/8~Rc3/8
安装器具类 模块连接块8-30系列
●空气调质系列300型连接块
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CAD/使用说明书
种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 300系列 Rc1/4.Rc3/8
安装器具类 模块连接块8-40系列
●空气调质系列300型和600型连接块
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CAD/使用说明书
种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 300.600系列 Rc1/4~Rc1/2
安装器具类 模块连接块8-60系列
●空气调质系列600型连接块
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种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 600系列 Rc1/4~Rc1/2
安装器具类 模块连接块8-65系列
●大型FRL系列600型连接块
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种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 650系列 Rc3/4.Rc1
安装器具类 模块连接块8-90系列
●大型FRL系列900型连接块
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种类 系列
尺寸
配管连接口径
连接块 900系列 Rc3/4.Rc1
安装器具类 托架8-15A系列
●调压过滤器FR150用固定支架
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种类 系列
尺寸
型号例
支架 150系列 FR150.L150
安装器具类 托架8-30A系列
●调压过滤器FR300、过滤器F300、给油器L300用固定支架
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种类 系列
尺寸
型号例
支架 300系列 F300.L300
安装器具类 托架8-60A系列
●过滤器F300、给油器L600、调压器R600用固定支架
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种类 系列
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型号例
支架 600系列 F600.L600
安装器具类 托架8-65A系列
●调压过滤器FR600、调压器R600用固定支架
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种类 系列
尺寸
型号例
支架 650系列 FN650.LN650
安装器具类 托架8-80A系列
●精密过滤器MF800、MF1000、超精密过滤器MMF600、MMF800等所用固定支架
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种类 系列
尺寸
型号例
支架 600.800.
1000系列
MF800.MMF600
MF1000
安装器具类 托架8-90A系列
●过滤器FN900、给油器LN900用固定支架
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种类 系列
尺寸
型号例
支架 900系列 FN900.LN900
FRL (终端过滤器(精密过滤・減圧阀))
在线过滤器PLF系列
●采用多孔中空丝膜滤芯,保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.01μm 50~100 l/min M5.Rc1/8
净化管路过滤器CLF系列
●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以100%地捕捉0.01μm的微粒子
●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子极少,能立即投入使用。
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.01μm 100 l/min Rc1/8.Rc1/4
不锈钢调压阀RS系列
最适合于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制,洁净空气、气体压力控制等,需要耐腐蚀性的食品相关、无油脂、无润滑油的生产线。
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.7 0~
800 l/min
M5~Rc1/4
精密不锈钢调压阀PRS系列
液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制,洁净空气、气体压力控制等的高精度设定(感度0.001MPa)。
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.01~0.25 0~
250 l/min
M5~Rc1/4
FRL (使用端用FRL)
空气调质组合 FRL组合C系列
●集中了使用线路上质量调节所需要的各种机能
●空气过滤阀、调压阀、给油器的组合件
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构成 处理空气量 配管连接口径
FRL 100~2000 l/min Rc1/8~Rc1/2
空气调质组合 过滤调压阀FR系列
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过滤精度
压力设定
处理空气量 配管连接口径
5μm
0.05~
0.83MPa
100~3000 l/min Rc1/8~Rc1/2
空气调质组合 空气过滤器F系列
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
5μm 100~3000 l/min Rc1/8~Rc1/2
空气调质组合 精密过滤器MF系列
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.3μm 300~1500 l/min Rc1/4~Rc1/2
空气调质组合 超精密过滤器MMF系列
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.01μm 150~750 l/min Rc1/4~Rc1/2
空气调质组合 调压阀R系列
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.83 100~
3000 l/min
Rc1/8~Rc1/2
空气调质组合 精密调压阀PR系列
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.005~0.5 20~
300 l/min
Rc1/8~Rc1/4
空气调质组合 溢流式调压阀HR系列
●即使出通一侧的有很大的压力变化时仍可以迅速响应
●采用了空气先导形式
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.7 0~
3000 l/min
Rc1/8~Rc1/2
电-空调压阀ETR系列
●收到电信号可灵活地控制气压
●产品的主体部分采用了P.W.M.控制提升阀结构、无泄漏,只需要简单的空气质量管理,有很长的寿命和很高的信赖度。
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.005~0.7 0~
3000 l/min
Rc1/8~Rc1/2
空气调质组合 汇流板式调压阀MR系列
●设置在一处就可以对复数以上的线路进行供给压力的调整和确认
●新加入了溢流调压型,更能自由对应各种需求
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.7 0~
1000 l/min
Rc1/8~Rc3/8
空气调质组合 油雾器L系列
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储存容量 滴下流量 配管连接口径
25~
160cc
最少5~
10 l/min
Rc1/8~Rc1/2
空气调质组合 残压排气阀300V系列
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构成 处理空气量 配管连接口径
FRL 100~2000 l/min Rc1/8~Rc1/2
小型FR 过滤器调压阀FRN系列
●轻量小型的调压过滤器
●使用了快速接头,让装置的配管变地更加容易
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过滤精度
压力设定
处理空气量 配管连接口径
5μm
0.05~
0.7MPa
0~150 l/min 4mm.6mm接头
小型FR 过滤器FN系列
●轻量小型的过滤器
●使用了快速接头,让装置的配管变地更加容易
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CAD/使用说明书
过滤精度 处理空气量 配管连接口径
5μm 10~40 l/min 4mm.6mm接头
小型FR 真空用过滤器VFN系列
●轻量小型的真空用过滤器
●使用了快速接头,让装置的配管变地更加容易
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
5μm 10~40 l/min 4mm.6mm接头
小型FR 调压阀RN系列
●轻量小型的调压阀
●使用了快速接头,让装置的配管变地更加容易
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CAD/使用说明书
压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.7 0~
150 l/min
4mm.6mm接头
小型FR 调压阀MRN系列
●轻量小型的调压汇流组
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.7 0~
150 l/min
IN.1/8.OUT4mm
6mm接头
含快速接头式调压阀RTS系列
●便利的快速接头内藏型的精巧设计
●带有便于进行压力确认的压力计
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0~0.8 0~
200 l/min
4~8mm接头
FRL (主管路~使用端用)
冷凝过滤器
●采用了高性能的分离滤芯,流量与流速发生变化时仍可保证一定的99%的分离水准
●无需更换进行滤芯的交换
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分离率 处理空气量 配管连接口径
99%以上 300~1500 l/min Rc1/4~Rc1
大型FRL FRL组合CN系列
●大流量时使用的空气过滤阀、调压阀、给油器的组合件
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构成 处理空气量 配管连接口径
FRL 最大2000~
6000 l/min
Rc3/4~Rc1
大型FRL 空气过滤器FN系列
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
5.40μm 最大3000~
6000 l/min
Rc3/4.Rc1
大型FRL 精密过滤器MF系列
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.3μm 最大4000~
6000 l/min
Rc1/2.Rc1
大型FRL 超精密过滤器MMF系列
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过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.01μm 最大3000~
5000 l/min
Rc1/2.Rc1
大型FRL 调压阀RN系列
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压力设定
MPa
处理空气量 配管连接口径
0.05~0.83 最大1500~
8000 l/min
Rc3/4.Rc1
大型FRL 油雾器LN系列
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储存容量 滴下流量 配管连接口径
160cc 最少14~
185 l/min
Rc3/4.Rc1
FRL (主管路)
干线过滤器KLF系列
●安装在空气干燥器前后及超精密过滤器之前,用以延长空气干燥器和超精密过滤器的使用寿命。
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CAD/使用说明书
过滤精度 处理空气量 配管连接口径
3μm 0.33~1.65m/min Rc3/8.Rc1/2
Rc3/4
超精密过滤器KMF系列
●安装在忌避油的生产线的入口处及空气干燥器的之后,以去除油分及其它微粒。
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CAD/使用说明书
过滤精度 处理空气量 配管连接口径
0.3μm 0.33~1.65m/min Rc3/8.Rc1/2
Rc3/4
活性炭过滤器KKF系列
●在前后均设有超精过滤器时,可去除蒸汽油分等臭味杂质,保持空气的清洁
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残油量 处理空气量 配管连接口径
0.1ppm 1.0.1.65m/min Rc1/2.Rc3/4

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