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真空无杆气缸 CYV
系列/CAD 使用环境压力｛Pa (ABS)｝ 缸径 (mm)
CYV  大气～1.3×10-4 15,32
特长
  • 真空环境内 (1.3×10-4Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。
门阀 XGT
系列/CAD 使用压力范围 (Pa) 使用流体 门尺寸
(高×宽) (mm)		 动作压力
(MPa)
XGT  大气压～1×10-6 惰性气体系的真空 32×222
46×236
50×336		 0.45～0.6
特长
  • 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
平稳出气阀 XVD
系列/CAD 阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
XVD  常断
(加压通/弹簧密封)		 氮气、空气、惰性气体等 VCR®
Swagelok®		 1/4B
特长
  • 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
  • (阀芯)座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
  • 伴随主供气初期供气可进行流量调整。
磁性开关 D
系列 磁性开关种类 内容
D Series  有触点的磁性开关 一般 (通用型)
无触点的磁性开关 一般 (通用型)
不锈钢制高真空L型阀／直通阀 XM/XY
系列/CAD
(L型/直通型)		 动作方式 轴密封方式 阀形式 材质 法兰尺寸
XMA/XYA  气控 波纹管密封 单作用
(N.C.)		 阀体：
　 SCS13
　 (相当SUS304)
波纹管：
　 SUS316L		 16～80注）
XMC/XYC  双作用
XMD/XYD  波纹管
O型圈密封		 单作用
(N.C.)		 阀体：
　SCS13
　(相当SUS304)
波纹管：
　SUS316L		 25～80
XMH/XYH  手动 波纹管密封 手动 阀体：
　SCS13
　 (相当SUS304)
波纹管：
　SUS316L		 16～50注）
特长
  • 采用精密铸造一体化结构，无气体滞留。
  • 与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
铝制快换接头装拆 高真空L型阀 XLAQ·XLDQ
系列/CAD 动作方式 轴密封形式 阀形式 材质 法兰尺寸
XLAQ  气控 波纹管密封 单作用
(N.C.)		 阀体：
　铝
波纹管：
　SUS316L		 16～50
XLDQ  波纹管密封
O形圈密封		 40,50
特长
  • 快换接头装拆 (无需工具)
铝制高真空L型阀 XL
系列/CAD 动作方式 轴密封形式
 阀形式 材质 法兰尺寸
XLA  气控 波纹管密封 单作用
(N.C.)		 阀体：
　 铝合金
波纹管：
　SUS316L		 16～80
XLAV
(带电磁阀) 
XLC  双作用
XLCV
(带电磁阀) 
XLF  O形圈密封
 单作用
(N.C.)		 阀体：
　 铝合金		 16～160
XLFV
(带电磁阀) 
XLG  双作用 16～80
XLGV
(带电磁阀) 
XLD  波纹管・
O形圈密封
 单作用
(N.C.)		 阀体：
　铝合金
波纹管：
　SUS316L		 25～80
XLDV
(带电磁阀) 
XLH  手动 波纹管密封
 手动 阀体：
　铝合金
波纹管：
　SUS316L		 16～50
XLS  电磁式 波纹管压力平衡 单作用
(N.C.)		 16, 25
特长
  • 抗氟腐蚀能力强。
  • 放出气体少。
  • 重金属污染少。

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