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桨叶式流量开关 IF3
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
IF3  14～60
20～1500
36～2600
特长
  • 用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。
  • 接管口径　3/4, 1
  • 相当IP42、相当IP44。
膜片式流量开关 IFW5
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
IFW5  1～10
10～20
20～50
特长
  • 用于冷却设备等的通用断水、减水型继电器。
  • 带霓虹灯。
通用流体用压力传感器 PSE56□
系列/CAD 种类 额定压力范围
PSE561  真空压 -101～0kPa
PSE563  混合压 -100～100kPa
PSE564  正压 0～500kPa
PSE560  正压 0～1MPa
特长
  • 接液部SUS316L
  • IP65
  • 适用于多种流体。
  • 模拟输出 (电压/电流)
  • 低泄漏。VCR®, Swagelok®接头可选择。
纯水・化学液用数字式流量开关 PF2D
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2D  0.4～4
1.8～20
4.0～40
特长
  • 主体传感器部：NewPFA，管子：SuperPFA
  • 低发尘、优良的置换特性。
便携式表面电位计 IZH10
系列/CAD 测定范围 显示最小单位
IZH10  ±20.0kV 0.1kV (±1.0～±20.0kV)
0.01kV (0～±0.99kV)
特长
  • 携带性优良的表面电位计。
空气用数字式流量开关 PF2A
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PF2A  1～10
5～50
10～100
20～200
50～500
150～3000
300～6000
600～12000
特长
  • 显示一体型和分离型两种形式。
  • 有开关输出、累计脉冲输出和模拟输出。
  • 瞬时流量和累计流量可切换。
  • IP65
流量传感器 PFMV
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PFMV  0～0.5
0～1
0～3
-0.5～0.5
-1～1
-3～3
特长
  • 用于微小工件的吸着确认。
  • 重复精度±2%F.S.以下。
  • 响应速度5ms以下、耐压500kPa。
  • 无润滑脂、对应RoHS。
  • 一个监视器可对应全部的量程。
2色显示数字式流量开关 PFM
系列/CAD 设定流量范围 (L/min)
PFM  0.2～10 (0.2～5)
0.5～25 (0.5～12.5)
1～50 (1～25)
2～100 (2～50) 　　　　　　　　( ) 适用于使用CO2
特长
  • 空气、N2、Ar、CO2。
  • 无润滑脂规格。
  • 与流量调整阀一体化。
  • 小型、轻量、省空间。
真空用压力开关／膜片式 ZSM1


系列/CAD 种类 额定压力范围
ZSM1  真空压 -27～-80kPa
特长
  • 可用于ZM真空发生器。
通用压力开关 ISG
系列/CAD 种类 额定压力范围
ISG11□、21□  正压 0.02～0.3MPa
ISG12□、22□  正压 0.05～0.7MPa
ISG13□、23□  正压 0.1～1.0MPa
IS2761  正压 0.1～1.0MPa
ISG19□、29□  真空压 -10～-100kPa
特长
  • 可用于多种流体。
  • 相当IP44。

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